北京昂坤半导体设备有限公司,专注于为化合物半导体,光电子和集成电路产业提供光学测量和光学检测设备及解决方案,致力于成为世界领先的光学设备研发和制造企业。
公司总部设在北京,在南昌和杭州设有全资子公司,公司自成立以来,一直坚持自主研发和技术创新,具备原创光学系统设计和算法技术研发实力。
公司主要产品:
MOCVD在线测试设备(RTC),可适用于上海中微和Aixtron机台,国内市占率大约在90%以上;
LED照明和显示领域:晶圆形貌检测、晶圆衬底缺陷检测、PSS检测设备、GaN及GaAs外延片缺陷检测设备,芯片外观缺陷检测等AOI设备,是国内LED生产企业光学测量和检测方面的主流设备; 代表型号:SPI300,E300,F300-PSS,F300-EPI-GN,F300-EPI-GA,F400系列COW/COT/COTD。
化合物半导体衬底和外延检测设备。主要有二代半导体GaAs、InP衬底及外延检测设备,三代半导体GaN、SiC衬底及外延检测设备,LT&LN检测设备,玻璃光片,图形片检测设备。具有业界领先的自研光学系统,对标国际知名企业,性能上行业领先;代表型号:E200,E300,E1000,E3200,E3500。
集成电路检测设备:主要集中在无图形衬底缺陷检测,芯片检测、CIS芯片和误图形片检测领域。代表型号:F2000,H1000等。